半導體廠房空間之研究 以廠務設施為例 | 化學工廠資訊網
![半導體廠房空間之研究 以廠務設施為例](https://i.imgur.com/lO00bdM.jpg)
氣體儲存區(HPM)、化學品儲放區(Chemicalstorage)。b.管溝(TUNNEL)。FAB棟為隔絕震動傳遞,因此與其他建築物並非完全連接在一起,其建築物.
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