添加劑對電鍍銅填孔力之影響及利用無電鍍銅製作奈米銅層 | 化學工廠資訊網
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劑,並在具備120nm溝渠的矽晶圓基板上電鍍銅並且觀察添加劑對填...也對電鍍銅充滿影響力,但因為在半導體工業的後段製程當中鮮少高溫製程,而.
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