光阻鍍膜機與濕蝕刻清洗機之製程與設備技術實務 | 化學工廠資訊網
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圖2.2(a)反應是左側的化學式,顯示一個典型的正光阻液的感光成分,或.稱為光活性化合物(PhotoactiveCompound),簡稱為PAC。他本身難溶於鹼性溶.液,但經過適量能量的 ...
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