無塵室系統工程概況 | 化學工廠資訊網
![無塵室系統工程概況](https://i.imgur.com/lO00bdM.jpg)
2002年3月6日—無塵室(CleanRoom),又名潔淨室或清淨室,其形成主要是利用強迫循環空調系統,配合多層次的精密濾網,排除空氣中之氣狀與粒狀污染物,並將溫度、 ...
![無塵室系統工程概況](https://i.imgur.com/lO00bdM.jpg)
無塵室(Clean Room),又名潔淨室或清淨室,其形成主要是利用強迫循環空調系統,配合多層次的精密濾網,排除空氣中之氣狀與粒狀污染物,並將溫度、濕度、電磁波、靜電及微振動等控制在合適的範圍內,而所給予特別設計之房間。此環境目前被廣泛運用於半導體、光電、醫療製藥、生化等產業,尤其是超大型積體電路與光學產業對於空氣中浮游粒子、化學分子等之污染極為敏感。由於此技術在工程領域中涉及較廣,層次較高,加上各類專業人才經驗累積費時,故進入門檻較高。
依1999 年Cleanroom Design 資料(如表一)可看出,高科技產業對無塵室清淨需求等級,其中以IC 產業的Wafer Fabrication 最高。
表一、高科技產業需求無塵室等級一覽表
產業別
需求無塵室等級
備註
IC產業
◎Material Preparation(磊晶) ◎Wafer Fabrication(晶圓 ) ◎封裝測試
製藥產業
◎Injectables ◎Topical ◎Oral Products
醫療相關產業
◎醫療設備 ◎人工心臟等人造組織
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