美光:部分惰性氣體來自烏克蘭目前供應鏈正常 | 化學工廠資訊網
![美光:部分惰性氣體來自烏克蘭目前供應鏈正常](https://i.imgur.com/lO00bdM.jpg)
2022年2月23日—集邦科技表示,惰性氣體主要應用於半導體微影製程,在深紫外光(DUV)光源準分子雷射世代,以惰性混合氣體與鹵素分子混合使用。
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