日本ZEON將主鏈切斷型技術切入EUV光阻劑市場 | 化學工廠資訊網
![日本ZEON將主鏈切斷型技術切入EUV光阻劑市場](https://i.imgur.com/lO00bdM.jpg)
2022年4月18日—與化學增幅型光阻相比,金屬光阻劑的EUV光吸收率高出數十倍,並具有優異的感光性或解析度。JSR也預計在1奈米級的製程將會開始金屬光阻劑的量產應用。而 ...
![日本ZEON將主鏈切斷型技術切入EUV光阻劑市場](https://i.imgur.com/lO00bdM.jpg)
日本ZEON公司將從不同面向進一步推動先進半導體材料的開發,包括在電子束光阻(Electron Beam Resist)方面將採用主鏈切斷型(Main Chain Scission)技術投入極紫外光(EUV)光阻市場,藉此因應微細化趨勢,期取代既有的化學增幅型光阻(Chemical Amplification Photoresist)。此外,亦將推出利用環烯烴聚合物(Cyclo Olefin Polymer; COP)的高透明性感光性絕緣膜、以奈米碳管提高熱傳導性之散熱片等多項特色商品。
在電子束光阻方面,ZEON計畫以主鏈切斷型做為差異化策略。競爭對手的化學增幅型光阻由於受光的光致產酸劑(Photoacid generator;PAG)產生酸,酸促進了聚合物的反應,促使反應趨於複雜。而主鏈切斷型則是藉由光切斷聚合物本身的主鏈以促進反應的進行,因此反應機制較為單純。
另在解析度方面,主鏈切斷型亦有很大的優點。隨著微細化的進展,光的照射面積逐漸趨於細小,也因此在這種情況下必須形成正確的反應。而主鏈切斷型會由無處不在的聚合物觸發,容易形成高解析度的微細圖案。
除了光罩製作用途之之外,目前在化合物半導體的光阻用途方面,相關洽詢也逐漸增加,對於相較於i線、g線更易於微細化的電子束光阻,採用業者也與日俱增。
ZEON對於主鏈切斷型電子束光阻的下一個目標則是投入EUV光阻市場。目前最先進的製程節點為5奈米,今後隨著製程節點技術的路線圖持續往3奈米、2奈米逼近的同時,化學增幅型的利用將愈形困難。例如JSR公司即於去年併購了美國的金屬光阻劑業者Inpria。與化學增幅型光阻相比,金屬光阻劑的EUV光吸收率高出數十倍,並具有優異的感光性或解析度。JSR也預計在1奈米級的製程將會開始金屬光阻劑的量產應用。
而ZEON...
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