含氟廢液資源化技術 | 化學工廠資訊網
![含氟廢液資源化技術](https://i.imgur.com/lO00bdM.jpg)
光電或半導體製造業於蝕刻製程中使用大量氫氟酸,使用過程除少量逸散外,大部分伴隨清洗水排入廢水處理系統。本技術利用矽砂擔體在結晶槽中作為結晶核種,擔體床在 ...
![含氟廢液資源化技術](https://i.imgur.com/lO00bdM.jpg)
資源化流程說明:光電或半導體製造業於蝕刻製程中使用大量氫氟酸,使用過程除少量逸散外,大部分伴隨清洗水排入廢水處理系統。 本技術利用矽砂擔體在結晶槽中作為結晶核種,擔體床在結晶槽中呈流體化狀態,將含氟廢水及含鈉、鋁離子之藥劑加入結晶槽內,以控制低過飽和濃度及適當酸鹼度,使廢液中之氟離子在矽砂擔體表面形成冰晶石結晶體,排出槽體外再經過脫水乾燥為成品,流體化床出流水經添加鋁鹽及液鹼調整pH值至中性,使處理水中之氫氧化鋁吸附殘餘之氟化物形成共沉澱,共沉澱物再經添加酸鹼藥劑調整pH值後,將會溶解出鋁離子,可重新引入流體化床內再次進行處理程序。
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