深入剖析電子級硫酸的「用武之地」! | 化學工廠資訊網
![深入剖析電子級硫酸的「用武之地」!](https://i.imgur.com/lO00bdM.jpg)
2020年8月19日—眾所周知,電子級硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸,屬於超凈高純試劑,是一種微電子技術發展過程中不可缺少的關鍵基礎化學試劑。
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原標題:深入剖析電子級硫酸的「用武之地」!
眾所周知,電子級硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸,屬於超凈高純試劑,是一種微電子技術發展過程中不可缺少的關鍵基礎化學試劑。目前廣泛應用於大規模集成電路(IC)、半導體等微電子工業,用作清洗和蝕刻劑.隨著中國微電子工業的高速發展,電子級硫酸的需求量日益增加,供不應求,電子級硫酸有著良好的應用前景.那麼具體電子級硫酸的用途或者說用武之地到底在哪裡呢?
電子級硫酸主要應用於電子矽晶片生產過程的清洗和蝕刻。
矽圓片在加工過程中,常常會被不同的雜質所沾污,可引起大規模集成電路產率下降50%左右。矽圓片上不溶性固體顆粒或金屬離子可能在微細電路之間導電,使之短路,幾個金屬離子或灰塵足以使線寬較小的大規模集成電路報廢。
Na、Ca等鹼金屬雜質會融進氧化膜中,導致耐絕緣電壓下降。當矽圓片表面附著有Cu、Fe、Cr、Ag等重金屬雜質時,會使P—N結耐電壓降低,影響大規模集成電路電性能。硼、磷、砷等雜質離子會影響擴散劑的擴散效果,塵埃顆粒會造成光刻缺陷,氧化層不平整,影響製版質量和等離子蝕刻工藝。
為了獲得高質量、高產率的集成電路晶片,必須除去各種沾污物,這就需要使用非常純凈的化學試劑來清洗矽圓片,硫酸和過氧化氫按比例組成有強氧化性的SPM清洗液,在120~150℃下對矽片進行清洗時,可將金屬氧化後溶於溶液中,並能把有機物氧化成CO2和H2O。它還可用於光刻過程中的濕法蝕刻去膠,藉助於化學反應從矽圓片的表面除去固體物質,導致固體表面全部或局部溶解。
電子級硫酸PPB | 化學工廠資訊網
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