特殊氣體、雷射氣體、工業氣體、醫療氣體、高壓氣體設備及容器 | 化學工廠資訊網
特殊氣體是一翻譯自國外之氣體類別,在國內法規上並無此名稱,但在企業界,由於其...腐蝕性氣體:Cl2、F2、HCl、HBr、WF6、NH3、NF3、BCl3、SiF4、AsH3 ...
製程名稱
使用氣體
氧化(Oxidation)
SiH4 、Si2 H6 、ClF3 、PH3 、SiH2 Cl
擴散(Diffusion)
AsH3 、AsCl3 、PH3 、PCl3 、POCl3 、B2 H6 、 BCl3 、BBr3 、SiCl4 、SiH2 Cl2 、NH3
磊晶(Epitaxy)
SiH4 、SiHCl3 、SiH2 Cl2 、SiCl4 、AsH3 、AsCl3 、 PH3 、B3 H6
化學氣相沈積 (Chemical Vapor Deposition)
...
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