什么是驻波效应? | 化學工廠資訊網
驻波(standingwave)是波的干涉特例,是由振幅、频率、振动方向均相同而传播方向相反的两列波迭加而成的,是一种特殊形式的干涉现象。表现为波形好像静止不动,跟波形 ...
驻波效应,在先进光刻制程中一个不可忽视的现象,能引发一系列的光刻质量问题,以至于严重影响着图案的精度。那么驻波效应是什么?如何产生的?有什么危害?怎么抑制呢?
什么是驻波效应?
当光束经过光刻胶并射向晶圆基底时,光束的一部分会从衬底表面反射回光刻胶内部。这反射的光束与原始的入射光束产生干涉,造成了明暗交替的干涉条纹,这就是“驻波效应”。这种效应会使光刻胶中的光强度呈现出上下起伏的模式:那些处于高光强的部分会发生更多的光化学反应,而低光强区域的反应则相对较少。这导致了在显影阶段,光刻胶的溶解呈现出与光强度模式相匹配的不均匀性,最终在光刻胶的剖面上形成了明显的起伏结构。
什么是光的干涉?
当两束或多束同一波长的光波在同一个处相交时,相同相位的两束波振幅相加,形成一个振幅更大的波,即明条纹。相反相位的两束波振幅相互抵消,即暗条纹。
相同相位指的是波峰与波峰相遇,波谷与波谷相遇,因此相互叠加。而相反相位一般为波峰与波谷相遇,波谷与波峰相遇,因此相互抵消。
证明光的干涉的著名实验,则是杨氏双缝干涉实验,以验证光的波动理论。
什么情况下驻波效应会加剧?
高反射率衬底
如果衬底的反射率较高,反射回来的光强度...
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