台積電「氫氟酸廢液合成冰晶石系統」每年可創逾4億元效益 | 化學工廠資訊網
![台積電「氫氟酸廢液合成冰晶石系統」每年可創逾4億元效益](https://i.imgur.com/lO00bdM.jpg)
2021年11月30日—冰晶石主要用於鋁工業做為助熔劑,可於電解煉鋁過程中節省逾25%能耗,由於全球天然冰晶石產量稀少且幾乎開採完畢,現多為人工合成品,一般製作過程需較多 ...
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【財訊快報/記者李純君報導】全球晶圓代工龍頭台積電(2330)致力推動循環經濟,將製程產生的廢棄資源再製為異業可使用的產品,更揭露,所打造的「氫氟酸廢液合成冰晶石系統」,每年可創逾4億元新台幣的效益,該系統更將於後續也擴大導入其他先進製程廠區。 台積電民國110年9月成功於晶圓十五B廠啟用首座「氫氟酸廢液合成冰晶石系統」,將氫氟酸廢液合成為鋁工業所需的高純度冰晶石,截至11月已減少氫氟酸廢液委外處理量達500噸、產出冰晶石150噸,預計於民國112年擴大導入至先進製程晶圓廠區,目標每年減少委外處理量46,000噸、產出冰晶石12,000噸,創造逾4億元新台幣效益。
針對晶圓加工與清洗製程產生的氫氟酸廢液,台積電自民國107年起攜手協力廠商啟動氫氟酸廢液回收技術研究,透過分析廢液濃度、再製技術、藥劑製備與銷售通路等面向,評估將氫氟酸廢液合成為高純度冰晶石最具廢棄資源高值化優勢。
冰晶石主要用於鋁工業做為助熔劑,可於電解煉鋁過程中節省逾25%能耗,由於全球天然冰晶石產量稀少且幾乎開採完畢,現多為人工合成品,一般製作過程需較多原料且反應溫度較高。
台積電以氫氟酸廢液做為冰晶石製程的原料,根據氫氟酸廢液的濃度需求,與廠商合作研發出可生成冰晶石的反應藥劑,再搭配適當的操作參數降低反應溫度,成功使氫氟酸廢液合成為高純度冰晶石,不僅克服因稀釋廢液所需的設備空間限制,可直接於廠內生產,在地研發的反應藥劑亦提升國內循環經濟產業的再生技術。
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