矽乙烷(Disilane) | 化學工廠資訊網
![矽乙烷(Disilane)](https://i.imgur.com/lO00bdM.jpg)
產品,矽乙烷(Disilane).化學式,Si2H6.介紹,為高單價的電子特氣,除半導體製程使用,手機主流面板使用軟性的LTPS基板,製程中最適合使用低溫反應的Disilane.
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