光阻劑 | 化學工廠資訊網
暫時塗佈在晶圓上表面.•經由曝光製程將設計圖案轉移其上.•非常類似於塗佈在照相機上的光敏.感物質.2.光阻劑.負光阻.•經曝光後變不可.溶.•經顯影製程,未.
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