高科技產業含氟廢水與廢棄物循環應用 | 化學工廠資訊網
![高科技產業含氟廢水與廢棄物循環應用](https://i.imgur.com/lO00bdM.jpg)
2019年9月5日—氫氟酸廢液最後進入廢水處理系統,主要以化學混凝產生氟化鈣污泥,去除氟離子以達排放水標準;然而其水含量高、利用價值低,目前多以委託污泥清運處理。
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台灣為全球半導體與顯示器等高科技產業之研發與製造的重鎮,在這些高科技廠中會大量使用氫氟酸。氫氟酸廢液最後進入廢水處理系統,主要以化學混凝產生氟化鈣污泥,去除氟離子以達排放水標準;然而其水含量高、利用價值低,目前多以委託污泥清運處理。近年來循環經濟概念意識上升,如何將高科技產業含氟廢水再生資源化利用,已為不可忽略之重要議題。
本文將從以下大綱,針對近年來高科技廠含氟廢水處理技術與再利用發展簡述說明,並分析國內相關應用的可行性。
‧前言
1. 含氟廢水來源
2. 含氟廢水處理方法
‧含氟廢水回收再利用
1. 氟化鈣污泥再製水泥副原料
2. 氟化鈣污泥再製人造螢石
3. 流體化床結晶–螢石
4. 六氟鋁酸鈉–冰晶石
‧台灣螢石需求與應用
‧含氟廢水處理再利用之未來展望
‧結論
【內文精選】
前言
1. 含氟廢水來源
台灣目前著重於發展高科技產業,除了原本的新竹科學園區之外,中部及南部也興建大型的半導體及光電業等高科技產業園區。積體電路半導體業、液晶顯示面板業與太陽能產業在製程中,均利用高純度氫氟酸(Hydrofluoric Acid)或氫氟酸混酸進行IC、TFT-LCD面板與太陽能矽晶片濕式蝕刻或進行表面清洗,透過清洗水或洗滌塔洗下排入廢酸收集系統,產生含氟廢水。一般含氟廢水氟離子濃度約1,000~3,500 mg/L,部分甚至可能大於10,000 mg/L以上。
含氟廢水回收再利用
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