Si2H6 矽乙烷 | 化學工廠資訊網
![Si2H6 矽乙烷](https://i.imgur.com/lO00bdM.jpg)
矽乙烷Disilane(Si2H6)為半導體先進製程及相關高階工藝製程之關鍵材料,矽乙烷被運用於奈米化製程中,利用化學氣相沉積(ChemicalVaporDeposition/CVD)在真空反應器 ...
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矽乙烷Disilane(Si2H6))相較於目前所用的矽甲烷Silane(SiH4),其具有更高薄膜的緻密度(Density),可大幅提升及改善沈積薄膜的平滑性(Smoothness)、連續性(Continuity)及良好摻雜兼容性(Dopants)及低沈積溫度之優勢,並且提高約10倍之成膜速率,大幅度提高生產效率等優勢,矽乙烷將成為重要並可協助高階世代產品及製程開發所必需的關鍵用料,如: 14奈米以下集成電路節點製程、三維閃存晶片(3D NAND)、動態隨機存儲記憶體(DRAM)、高階顯示屏(LTPS)、光伏電池(Solar Cell)等電子級半導體製程。
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Si2H6 矽乙烷 | 化學工廠資訊網
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乙矽烷 | 化學工廠資訊網
乙矽烷(英語:Disilane),又稱矽乙烷,是一種有毒的化合物,分子式為Si2H6,在室溫下為氣態。它的性質與乙烷很類似,都是無色易燃的氣體,但是它的矽-矽鍵比乙烷的 ... Read More
乙矽烷(Disilane;Si2H6) | 化學工廠資訊網
乙矽烷(Disilane;Si2H6). 主要用途:乾蝕刻劑、半導體及液晶製造設備用清潔劑. 用途分類:. 半導體製程材料 電子材料. 基本情報; 特性詳細; 用途詳細. 基本情報. Read More
Disilane 矽乙烷 | 化學工廠資訊網
Disilane (Si2H6). 高純度矽乙烷. 台灣在地化充填交期迅速; 分析儀器原料、產品全檢; 提供成品生產 ... Read More
Si2H6 Disilane | 化學工廠資訊網
Disilane (Si2H6) compares with Silane(SiH4), its density of thin film, deposition smoothness, continuity, dopants and characteristic of low temperature are ... Read More
以Si2H6低壓氣相沉積之複晶矽研製低溫(<=600℃)薄膜電晶體 | 化學工廠資訊網
標題: 以Si2H6低壓氣相沉積之複晶矽研製低溫 (<=600℃)薄膜電晶體. Fabrication of Low Temperature (<= 600℃) Thin-Film Transistors with Polysilicon Films grown by ... Read More
物質安全資料表 | 化學工廠資訊網
同義名稱:Disilane(Si2H6)、Disilicane、Disilicoethane、Disilicon hexahydride、Silicoethane、Silicon hydride、. Silicon hydride(Si2H6). Read More
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