半導體特殊氣體 | 化學工廠資訊網
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特殊氣體是一翻譯自國外之氣體類別,在國內法規上並無此名稱,但在企業界,由於其許多技術與原料均來自國外,故亦沿用此名稱,其所包含之氣體均是一般較不常見,或等級 ...,隨著全球半導體製程技術的進步及產能需求強勁,連帶帶動被譽為半導體製造中「血液」-電子氣體之需求,電子氣體分為大宗氣體(BulkGas)及特殊氣體(SpecialtyGas)。,特殊氣體上,可略分為下述三大類:(1)惰性氣體(InertGas)的He,SF6,CO2,CF4,C2F6,C4H8及CH3F等。(2) ...,2022年3月9日—供應半導體用特殊氣體的晶呈科技(4768)將於4月中旬掛牌上櫃,晶呈董事長...
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