宇川 TSA | 化學工廠資訊網
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三矽烷胺(SiH3)3N(TSA)是一種高揮發性(315torr@25°C)及無碳和無氯的Si3N4和氮氧化物前驅物,具有低溫(575-700°C)可反應能力。它提供了極其清潔的環境( ...,工業氣體大廠聯華林德18日宣布,將與半導體先驅物質首屈一指的供應商宇川精密材料公司合作,預計未來二年投資9,000萬元,在台南廠區共同開發三甲矽烷基胺(TSA)生產 ...,宇川精密材料致力於世界級ALD前驅物材料供應商的領導者,位處台南科學園區乃世界半導體供應的中心,宇川精密...2022-07-12,聯華林德、宇川精密攜手開發TSA.,...2018.01.12ISO14001:2015環境管理系統認證;2018...
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