氣體 製程 | 化學工廠資訊網
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半導體廠的各製程所需使用的特氣.特殊氣體上,可略分為下述三大類:(1)惰性氣體(InertGas)的He,SF6,CO2,CF4,C2F6,C4H8及CH3F等。(2)燃燒性氣體(Flammable ...,探索本公司所提供的純氣體、混合物及處理設備,讓您從今天起事半功倍。...首頁;氣體.氣體.GasTruckPlantandCylinder.工業氣體、特殊氣體及製程氣體.,由CSChen著作·2006—針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體,通常設計將鋼瓶置於氣瓶櫃(GasCabinet).內,再透過管路將氣體供應至現場附近的閥箱(VMB,ValveManifoldBox),而.後再進入製程機台的 ...,工業氣體是為了在产业中使用而制造...
半導體廠的各製程所需使用的特氣 | 化學工廠資訊網
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