真空腔體 清潔 | 化學工廠資訊網
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6.4清潔的方法.6.5真空系統烘烤...漏氣的定義為氣體由真空系統的外部經由漏氣的途徑進入...一般不漏氣的真空系統或真空裝置,習慣上有用密封系統.,多腔體鍍膜系統是一組真空腔系統,這些真空腔系統通過位於系統中心的傳輸腔相互連接。從基材的清潔、鍍膜與封裝的所有過程都在不破壞真空的環境下連續進行。,必须去除表面上的所有杂质,以使其在真空条件下不解吸、不产生气体负荷或沉积在部件上。最初的预处理是必需的,例如,用高压清洗器,以去除粗污垢。随后,将在多腔室 ...,單腔真空清洗僅適用於溶劑型清洗,像噴淋製程一樣,在真空...
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