PI 顯影 | 化學工廠資訊網
2019年10月5日—在IC製程應用,由於傳統的PI須配合光阻劑一起使用才能得到所要的線路圖形,而感光型PI(PhotosensitivePI;PSPI)可直接曝光顯影做成圖形, ...,以正型光阻(Positivetone)為例,曝光區域是可以被顯影掉,非曝光區域則是做為Hardmask用。...針對晶圓製程之PI光阻,具有良好之顯影效果。,顯影液□PIBase顯影液□TMAHBase顯影液□KOHBase顯影液.□Cyclopentanone/環戊酮/515/A515.顯影液SDS下載.可少量or小包材出貨,歡迎學校和研究單位 ...,此外,我們供應高解析度光阻,可搭配Na2CO3無機鹼性顯影劑使用。PMERP-WE系列、PMERP-CY...
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熱門專利組合—軟板材料元件技術專利組合 | 化學工廠資訊網
2019年10月5日 — 在IC製程應用,由於傳統的PI須配合光阻劑一起使用才能得到所要的線路圖形,而感光型PI (Photosensitive PI; PSPI)可直接曝光顯影做成圖形, ... Read More
黃光製程> 顯影液 | 化學工廠資訊網
以正型光阻(Positive tone) 為例,曝光區域是可以被顯影掉,非曝光區域則是做為Hard mask用。 ... 針對晶圓製程之PI光阻,具有良好之顯影效果。 Read More
顯影液 | 化學工廠資訊網
顯影液 □ PI Base 顯影液 □ TMAH Base 顯影液 □ KOH Base 顯影液. □Cyclopentanone/環戊酮/ 515 / A515. 顯影液SDS下載. 可少量or 小包材出貨,歡迎學校和研究單位 ... Read More
半導體材料(後段) | 化學工廠資訊網
此外,我們供應高解析度光阻,可搭配Na2 CO3無機鹼性顯影劑使用。 PMER P-WE系列、 PMER P-CY系列、 TMMR ... 此外,若烘烤前就使用,去光阻劑即能去除聚酰亞胺(PI)。 Read More
PI Film | 化學工廠資訊網
PIF聚醯亞胺薄膜是一個種耐熱性佳的高分子薄膜,具有優異的物理,化學和電性特性,其操作區間可在較寬廣的溫度範圍下使用, 溫度執行範圍可從低溫- 4 5 2 °F( -2 69°C) ... Read More
光阻劑 | 化學工廠資訊網
較大的製程自由度. – 對製程條件的改變有較佳之容忍性. 8. 基本步驟. • 晶圓清洗. • 脫水烘烤. • 底漆層及光阻塗佈. • 軟烘烤. • 對準及曝光. • 顯影. • 圖案檢視. Read More
RGB 光阻,PS光阻,PI光阻,BM光阻 | 化學工廠資訊網
制程特性:高塗布均勻性、高感度、較大顯影制程窗口。 可靠度:高耐熱性、高耐光 ... Read More
半導體用光阻劑之發展概況 | 化學工廠資訊網
2020年8月26日 — 正型光阻其未被光罩覆蓋的光阻區域,在UV照射後,可被顯影液輕易的帶離; ... 光阻劑,正型光阻劑在經過曝光後,受到光照的部分將在顯影時溶解,顯影 ... Read More
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