光阻劑 | 化學工廠資訊網
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光阻劑(英語:photoresist),亦稱為光阻或光阻劑,是指經過紫外光[1]、深紫外光、電子束[2]、離子束、X射線[3]等光照或輻射後,溶解度發生變化的耐蝕刻薄膜材料,是微影[4]製程中的關鍵材料,主要應用於積體電路[5]和離散元件[6]的細微圖形加工。
正性與負性光阻劑的示意圖 References 紫外光 (www.wikiwand.com) 電子束 (www.wikiwand.com) X射線 (www.wikiwand.com) 微影 (www.wikiwand.com) 積體電路 (www.wikiwand.com) 離散元件 (www.wikiwand.com)
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DeepUV高分子光阻劑之合成與其特性研究 | 化學工廠資訊網
傳統的i-線光阻劑乃是採用DNQ/Novolac系統,這種光阻材料系統可應用至0.35μm之製程,然而隨著集積度的增加,在0.25μm製程以下,這種系統便因其解析力不足, ... Read More
DNQ | 化學工廠資訊網
由 林勳銘 著作 · 2006 — 關鍵字: 光阻;微影;X光微影;photoresist;Lithographic;X-ray Lithographic;DNQ-Novolak. 公開日期: 2006. 摘要: 隨著微影技術的蓬勃發展,使半導體技術可以在相同的 ... Read More
IC光阻市場及技術發展趨勢 | 化學工廠資訊網
圖六即比較看出,DNQ/Novolak光阻在. 曝光前及曝光後之UV吸收情形。 由於感光物曝光後的殘餘吸收會影. 響Bleaching Effect,不容易得到垂直的光. 阻圖案,亦 ... Read More
光阻劑 | 化學工廠資訊網
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光阻劑 | 化學工廠資訊網
光阻. 負光阻及正光阻. 基片. 光阻. 4. 光阻成分. • 高分子. • 溶劑. 1. 溶解高分子. 2. 允許光阻藉由旋轉塗佈而成. 薄層以進行應用. • 感光劑. 1. 決定曝光時間及強度. Read More
光阻劑 | 化學工廠資訊網
光阻劑[編輯] · 1 光刻的類別 · 2 光阻劑組分 · 3 電子束曝光 · 4 化學放大光刻膠. 4.1 光致產酸劑 · 5 DNQ-Novolac 光阻劑 · 6 深紫外(DUV)光阻劑. 6.1 248nm 光阻劑; 6.2 ... Read More
光阻劑 | 化學工廠資訊網
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黃光製程> 顯影液 | 化學工廠資訊網
根據光阻的不同,需要不同的光源(Light source), 曝光能量(Exposure dose)。 以DNQ-Novalak型光阻為例,在曝光過程中,感光劑DNQ,會進行光化學反應, ... Read More
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