黃光製程> 洗邊劑 | 化學工廠資訊網
EBR=EdgeBeadRemover。因為旋塗中有所謂的離心力,造成光阻會跑到晶邊與晶背,...EBR是使用溶劑噴洗的。另一種方法稱為WEE,WaferEdgeExposure,再加一層光 ...
特定類型之導線架於前段打線或模壓製程時會貼耐熱膠帶,除可有效提升耐熱(化)性亦可降低溢(脂)膠的產生。經過高溫製程並撕去膠帶後,一般都會有殘膠殘留於導線架上,當浸泡藥液時可將殘膠溶解並剝離下來。常見的tape殘膠可區分為壓克力系(acrylic type)及矽膠系統(silicone type),本公司係針對殘膠類型先做區分,進而開發出最合適之藥水。
品名 簡介 特性 SID-103 針對矽膠系Tape殘留做去除。 1.取代市面易燃且高COD溶劑。 2. 藥水易管理,廢液處理容易。 SID-113 針對壓克力系Tape殘留做去除。 1.取代市面易燃且高COD溶劑。 2. 藥水易管理,廢液處理容易。 ...
ebr半導體 | 化學工廠資訊網
Edge Bead Remover (EBR) | 化學工廠資訊網
Electro Scrub 清潔化學液 | 化學工廠資訊網
包含邊緣球狀物移除處理的晶圓製造監視系統與方法 | 化學工廠資訊網
半導體黃光製程有害物暴露及異味調查研究Exposure ... | 化學工廠資訊網
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