包含邊緣球狀物移除處理的晶圓製造監視系統與方法 | 化學工廠資訊網
邊緣球狀物移除(EBR)量測或邊緣外寬度(EEW)量測描述相對於晶圓中心與晶圓邊緣之晶圓邊緣外區域的頂側面量測。此量測典型在沿著晶圓邊緣的幾個點上完成並在寬度上的範圍為 ...
包含邊緣球狀物移除處理的晶圓製造監視系統與方法本發明大致關係於監視半導體晶圓製造的系統與方法,例如,藉由檢視一晶圓的邊緣外區域,包含最佳化製造處理步驟。
過去幾十年來,半導體有關技術已經指數地成長並已改革了現今社會。半導體製造者已經在生產上有大量的改良,造成了最終產品品質、速度及效能上之改良。然而,仍然持續有更快、更可靠及更高效能半導體的需求。為了協助這些需求,有必須持續追求更佳之監視及/或檢視系統與方法。
例如,半導體經常以晶圓形式加以製造,每一晶圓具有多數層,包含例如一矽及絕緣層或在絕緣層上有矽或SOI晶圓中之多數層。無論如何,在晶圓生產中,遮罩層或阻劑層經常被應用至一晶圓上,以完成晶圓的圖案化。典型地,在晶圓被旋轉的同時,將想要數量的液狀光阻劑施加至晶圓的頂面。因為晶圓被旋轉,所以光阻劑材料被徑向由晶圓的中心向外散開並且朝向半導體緣部,使得晶圓實際被塗覆以一圓層的光阻劑。過量的光阻劑可以被收集並在半導體晶圓的外緣形成有一光阻劑堆或球。經常,光阻劑也流出晶圓邊緣,而可能污染晶圓的邊緣壁及背面。已經採用了各種邊緣球狀物移除(EBR)製程,以免除 接近晶圓邊緣的光阻劑的“邊緣球狀物”及/或其他不要的材料。
應注意的是,在晶圓生產時,各種材料移除製程被使用,包含例如濕式蝕刻、乾式蝕刻、研磨、化學機械研磨(CMP)、及取決於予以被移除之材料的其他製程。在EBR移除時,例如,化學EBR單元藉由噴灑稱為EBR流體的溶劑至該半導體晶圓的光阻劑上,而移除光阻劑環及其他在晶圓邊緣周圍的不想要的材料。溶劑溶解或使光阻劑顯影並允許容易由半導體晶圓的邊緣移除光阻劑。晶圓邊緣曝光(WEE)單元可以外加或交替地應用作EBR目的。WEE利用一光學單元,以光來曝光在半導體晶圓的邊緣或接近邊緣的光阻劑環。在後續的顯影製程中,已曝光的光阻劑環被移除。
邊緣外區域的準確置放對於維持邊緣晶圓良率係很重要的。在邊緣外區域中之膜重疊的變動可能造成限制良率之缺陷。邊緣球狀物移除(EBR)量測或邊緣外寬度(EEW)量測描述相對於晶圓中心與晶圓邊緣之晶圓邊緣外區域的頂側面量測。此量測典型在沿著晶圓邊緣的幾個點上完成並在寬度上的範圍為0mm至6...
ebr半導體 | 化學工廠資訊網
Edge Bead Remover (EBR) | 化學工廠資訊網
Electro Scrub 清潔化學液 | 化學工廠資訊網
包含邊緣球狀物移除處理的晶圓製造監視系統與方法 | 化學工廠資訊網
半導體黃光製程有害物暴露及異味調查研究Exposure ... | 化學工廠資訊網
晶圓旋轉光阻塗佈機 | 化學工廠資訊網
第一章緒論 | 化學工廠資訊網
自動化阻劑處理系統介紹 | 化學工廠資訊網
黃光製程> 洗邊劑 | 化學工廠資訊網
【新北市】日益和股份有限公司
新北市化工廠有哪些?本篇為大家整理位於新店區二十張路129巷1弄6號5樓的「日益和股份有限公司」相關資訊,用列表的方式整理...
【新北市】柏連企業股份有限公司
新北市化工廠有哪些?本篇為大家整理位於五股區成泰路4段86號6樓的「柏連企業股份有限公司」相關資訊,用列表的方式整理給大...
【新竹縣】亞氨科技股份有限公司
新竹縣化工廠有哪些?本篇為大家整理位於竹北市文興路一段156號5樓的「亞氨科技股份有限公司」相關資訊,用列表的方式整理給...
【中部科】長信昇實業股份有限公司
中部科化工廠有哪些?本篇為大家整理位於學工業園區臺中市大雅區科雅路32號3樓的「長信昇實業股份有限公司」相關資訊,用列...
【新竹縣】亞氨科技股份有限公司
新竹縣化工廠有哪些?本篇為大家整理位於竹北市文興路一段156號5樓的「亞氨科技股份有限公司」相關資訊,用列表的方式整理給...
【桃園市】開利達企業股份有限公司
桃園市化工廠有哪些?本篇為大家整理位於桃園區寶山里會稽一街88巷6號6樓的「開利達企業股份有限公司」相關資訊,用列表的方...
【臺北市】歐普仕化學科技股份有限公司
臺北市化工廠有哪些?本篇為大家整理位於信義區忠孝東路5段510號25樓的「歐普仕化學科技股份有限公司」相關資訊,用列表的方...