特殊氣體、雷射氣體、工業氣體、醫療氣體、高壓氣體設備及容器 | 化學工廠資訊網
![特殊氣體、雷射氣體、工業氣體、醫療氣體、高壓氣體設備及容器](https://i.imgur.com/lO00bdM.jpg)
而像SiH4、B2H6、PH3這些則屬於自燃性氣體(Pyropholic),即使是在很低的濃度下,一接觸到大氣,立刻會產生燃燒現象。】半導體製程使用之特殊氣體.製程名稱.使用氣體.
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製程名稱
使用氣體
氧化(Oxidation)
SiH4 、Si2 H6 、ClF3 、PH3 、SiH2 Cl
擴散(Diffusion)
AsH3 、AsCl3 、PH3 、PCl3 、POCl3 、B2 H6 、 BCl3 、BBr3 、SiCl4 、SiH2 Cl2 、NH3
磊晶(Epitaxy)
SiH4 、SiHCl3 、SiH2 Cl2 、SiCl4 、AsH3 、AsCl3 、 PH3 、B3 H6
化學氣相沈積 (Chemical Vapor Deposition)
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