半導體廠的各製程所需使用的特氣 | 化學工廠資訊網
![半導體廠的各製程所需使用的特氣](https://i.imgur.com/lO00bdM.jpg)
(1)惰性氣體(InertGas)的He,SF6,CO2,CF4,C2F6,C4H8及CH3F等。(2)燃燒性氣體(FlammableGas)的SiH4,Si2H6,B2H6,PH3,SiH2Cl2,CH3,C2H2及CO等。
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特殊氣體上,可略分為下述三大類: (1) 惰性氣體(Inert Gas)的He, SF6,CO2, CF4, C2F6, C4H8及CH3F等。 (2) 燃燒性氣體(Flammable Gas)的SiH4,Si2H6, B2H6, PH3, SiH2Cl2, CH3, C2H2及CO等。 (3) 腐蝕性氣體(Corrosive Gas)的Cl2,HCl, F2, HBr, WF6, NH3, BF2, BCl3, SiF4, AsH3, ClF3, N2O, SiCl4, AsCl3及SbCl5等。 實際上,有些氣體是兼具燃燒及腐蝕性的。其中除惰性氣體外,剩下的均歸類為毒性氣體。SiH4,B2H6,PH3等均屬自燃性氣體(Pyrophoricity),即在很低的濃度下,一接觸大氣後,立刻會產生燃燒的現象。 作用: He: 濺鍍 SiH4,Si2H6, PH3, SiH2Cl2,WF6,: 氣相沉積 Cl2,HCl, HBr, NH3, BF2, BCl3, SiCl4, AsCl3: 蝕刻 SiF4, AsH3,ClF3,PH3,B2H6:離子植入
氧氣的發現: O2(氧氣)無色﹑無味﹑無臭的氣體﹐作為一種工業氣體主要由空氣分離而得。氧氣比空氣略重﹐微溶於水﹐液化溫度90.17K﹐固化溫度62.76K。氧氣的化學性質極為活潑﹐能與惰性氣體以外的所有化學元素形成氧化物﹐大多數元素在含氧氣氛中加熱時形成氧化物﹐有些元素可形成多種氧化物。氧氣能助燃﹐與其他可燃物按一定比例混合易發生爆炸。
氧氣廣泛分布在自然界中﹐空氣﹑水﹑礦石中的氧約佔地殼質量的一半﹐是地殼中含量最多的元素。氧佔空氣的 20.94%(體積)。人類與動植物的生存依賴氧氣。空氣中的氧氣雖然不斷地用於呼吸﹑燃燒和其他氧化過...
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