hpm半導體 | 化學工廠資訊網
高科技半導體廠房中的FAB是Fabrication(製造.廠)的意思,一般來說指得就是主要的生產重鎮,FAB.大致上分成三個區域,無塵室、HPM、迴風區。除了.,半導體製程污染源...HPM.•約10min.•80-90℃.8090℃.–每兩道清洗劑之間用去離子水(D.I.Water)清洗,去除殘餘成分。...半導體製程常見化學品.•酸液:.,半導體晶圓製程中有五大污染物:微粒、金屬不純物、有機污染物、自然生成氧化層及...常用化學品有SC-1(APM)、SC-2(HPM)、SPM、HF及BHF等,其成份與功能如下表所示。,氣體儲存區(HPM)、化學品儲放區(Chemicalstorage)。b.管溝(TUNNE...
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