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價格實惠!光阻稀釋劑常見的為OK73或EBR7030等產品,其中主要成份分別為丙二醇單甲基醚(PGME)與丙二醇單甲基醚酯(PGMEA)這兩種化學物質。□OK-73(PGME+PGMEA)
光阻稀釋劑
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光阻塗佈;有兩個衡量指標:厚度(Thickness) 與均勻度 (Uniformity)。
光阻塗佈時的用量,只有與能否覆蓋整片晶圓有關,但是在旋塗的過程中,約有40~60%是噴灑出去的。厚度與旋轉速度有關,Rotating speed;均勻度則與recipe的設置有關,一般的Coater,轉速的限制在500~3000rpm。
光阻稀釋劑常見的為 OK73 或 EBR7030 等產品,其中主要成份分別為丙二醇單甲基醚(PGME)與丙二醇單甲基醚酯(PGMEA)這兩種化學物質。
什麼是EBR?
EBR 全名為 Edge Bead Remover
用途為:EBR是使用溶劑噴洗的
因為旋塗中有所謂的離心力,造成光阻會跑到晶邊與晶背,若是不除去,可能造成承接晶圓的機械手臂無法精準拿取,以及後續的熱製程中,particle掉入chamber內,需要一筆非常大的維修費用與時間。
■ OK-...
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