半導體常用氣體 | 化學工廠資訊網
,而像SiH4、B2H6、PH3這些則屬於自燃性氣體(Pyropholic),即使是在很低的濃度下,一接觸到大氣,立刻會產生燃燒現象。】半導體製程使用之特殊氣體.製程名稱.使用氣體.,電子工業:半導體製造通訊工業:光纖製造醫藥工業:磁振造影(MRI)保冷、核磁共振(NMR)保冷其他:管線試漏、潛水、氣球、焊接保護,etc.氮氣(N2)之應用範圍電子工業: ...,2019年12月16日—特殊氣體為半導體製程的血液.在半導體製程中使用的氣體,可分為常用氣體與特殊氣體,常用氣體泛指集中供給、用量非常多的 ...,氣體的使用在半導體製程中一直扮演著重要的角色,特...
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