第一章緒論 | 化學工廠資訊網
要改善晶圓缺陷相當不易,因為半導體的製程少則有100至200道步驟,多則...如光阻洗邊(edgebeadremoval,EBR)太寬會造成完整晶圓顆粒(die)的損失而直接.
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