光阻洗邊第一章緒論 | 化學工廠資訊網
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如光阻洗邊(edgebeadremoval,EBR)太寬會造成完整晶圓顆粒(die)的損失而直接...導致光阻曝光不良而讓後續的蝕刻製程產生異常之橋接(Bridge)現象;E2nozzle.
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