清洗製程 | 化學工廠資訊網
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半導體製程污染源.•微粒.–來源:機器、包圍的空氣、氣體、...洗.–影響:閘氧化物品質降低;高接.觸電阻;矽化物品質差。...可利用超音波提高洗淨效果。
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